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勻膠機的產品特點,你了解多少?

更新日期:2024-12-06      點擊次數:1413
  勻膠機轉速穩定、啟動迅速,旋涂均勻,操作簡單,結構緊湊實用,為實驗室提供了理想的解決方案。廣泛應用于微電子、半導體、新能源、化工材料、生物材料、光學,硅片、載玻片,晶片,基片,ITO導電玻璃等工藝制版表面涂覆等。主要用于液體,膠體的成膜性能試驗,表面涂覆。
 
勻膠機
勻膠機的產品特點
 
  1、采用閉環控制伺服電機,數字式增速信號反饋,速勻準確,壽命長,保證勻膠均勻。
 
  2、5寸全彩觸摸屏,智能程序化可編程操控顯示,標配10個勻膠梯度階段(速度和時間梯度設置),可選配10個可編程程序,每個程序下可設置10個勻膠梯度階段,多100個階段。
 
  3、內置水平校準裝置,**限度的保證旋涂均勻,可對大小不同規格的基片進行旋涂。
 
  4、多重安全保護。
 
  5、電磁安全開關,蓋子打開卡盤停止,保證安全。
 
  6、蓋子自鎖功能,防止飛片蓋開傷人。
 
  7、雙重安全上蓋,聚四氟嵌鑲鋼化玻璃,避免單一玻璃或者亞克力上蓋飛片傷人,限度保證實驗人員安全。
 
  8、一機兩用,根據不同樣品可選真空吸盤和非真空卡盤兩種旋涂模式。
 
  9、不銹鋼噴塑涂層旋涂殼體,PTFE旋涂腔體,聚丙烯(NPP-H)旋涂托盤,PTFE嵌鑲鋼化玻璃上蓋,耐酸堿防腐蝕,保證儀器在苛刻條件下仍能正常運行。
 
  10、適用硅片、玻璃、石英、金屬、GaAs,GaN,InP等多種材料。
 
  勻膠機工作原理和主要構成:
 
  將各類膠液滴注于高速旋轉的基片上,滴在基片上的膠液通過離心力在基片上均勻地涂覆的設備,被叫做勻膠機。溶膠的黏度以及勻膠機的轉速對于膜的厚度起到決定性作用。
 
  勻膠機工作原理:
 
  勻膠機在MEMS微加工,生物,材料等領域得到了非常廣泛的應用。其能夠用來對厚度比10納米還要小的薄膜進行制備,也常常在1-100微米左右厚光刻膠沉積層的光刻工藝中得到應用。
 
  半導體硅片,載玻片,晶片,基片,ITO導電玻璃等均能夠用許多平面基底材料來涂覆。
 
  利用負在片托上產生,在片托上吸附需要旋涂的基底材料,在基底材料的表面滴注膠液,利用對電機的旋轉速度的精確調節從而來使離心力大小得以改變,與此同時利用滴膠裝置來對膠液的流量進行控制,從而使得制備薄膜所需的厚度達到。除此以外旋涂時間,膠液的粘度,涂覆的溫度和濕度等環境因素也會對薄膜厚度產生影響。
 
  勻膠機能夠涂的膜厚能夠達到10納米-10微米的范圍,均勻度能夠達到1%。
 
  勻膠機主要構成
 
  控制器和甩膠處理腔體兩大部分通常包含于該設備內。通常預制的PLC程序段存在于控制器內,市面上常見的設備有著較大的差異。簡易控制器利用簡單的電控調速技術將旋轉速度簡單分成2-3個檔位,低檔用來將膠液甩開,而高dang用來均勻涂布。復雜控制器設定20個程序段來對不同材料的制備過程進行存儲。
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