伺服勻膠機

前言

量子計算機被譽為新一輪科技革命得戰略制高點，能夠在眾多關鍵技術領域提供超越經典計算機極限的核心計算能力。芯片是量子計算機的核心，研究表明當量子芯片比特數達到50~100時，量子計算機就有可能進行有價值的量子計算。

央視視頻截圖

視頻截圖中展示的是制造量子計算機芯片前期工作重要的一環---勻膠工藝和曝光后的顯影工藝。

科研人員所用的設備（紅框中）系江蘇雷博科學儀器有限公司研發的AC200-SE-CTM自動勻膠機和AC200-S-CTM自動顯影機。

勻膠機為自動擺臂與4路滴膠功能，顯影機則是擁有雙自動擺臂、3路顯影、1路純水、1路氮氣的功能，可處理1cm至8英寸晶圓。

量子芯片工作在-270℃左右的環境中，與普通芯片有較大區別，因此量子芯片的材料、生產工藝等也與普通芯片不同，這對生產設備提出了特殊的要求。

               自動勻膠機                                   自動顯影機

產品詳情

總結

通過量子計算機整機順利交付，可從側面反映出雷博科儀勻膠顯影設備與光刻機的工藝方面需求已經通過驗證。

此次的重大突破，也體現了雷博科儀勻膠顯影設備在半導體行業的適配性和專業性。